The Actor of Biochip——Micropump
微泵是生物芯片的关键因素之一,因此选择适合生物芯片的微泵是首要工作.很多因素都会影响微泵的性能,本文对不同的致动器、材料、加工和制备方式进行了分析和比较,并着重介绍了微泵的激光加工.结合生物芯片易集成、易控制、易加工等要求,在诸多种类的微泵中进行优化选择,认为平面无阀压电微泵是生物芯片的最佳选择.